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金属表面处理
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不锈钢内管电化学抛光设备

该设备为专用电化学抛光设备,是针对半导体、真空、制药、食品等领域高纯净不锈钢管的内管电化学抛光加工而设计,电化学抛光液在管内流动,加工电(阴)极为活动式,加工过程产生的气体随药液排出管外。


设备特点:自动化程度高,生产效率高,可大批量生产,质量稳定,加工成本低,抛光质量好,光亮度高。


内管EP后,Ramin在0.1~0.2μm(2μin~4μin)范围内;
钝化膜层:Cr/Fe>1~1.5,CrO/FeO>1~2;
可符合SEMI F19-0304及ASME BPE-2012相关标准之要求;


设备规格型号及性能指标:


规格型号 单 位 MIR-TEP-0 MIR-TEP-1 MIR-TEP-2 MIR-TEP-3 MIR-TEP-4
可加工管径 mm ≤Φ5 Φ6~13 Φ14~32 Φ33~89 ≥Φ89
可加工管长 mm ≤2000 2000~4000 4000~6000 4000~6000 4000~8000
设备功率 kw ≤30 36 48 48 ≥60
一次加工量 10~20 10~15 5~10 1~5 1~5
辅助电极 移动式 移动式 移动式 固定式 固定式
控制方式 手动、自动可选
加工质量等级 依据客户要求而定
控制精度 ≤1%
设备使用环境 0℃~50 ℃ 环境温度下

注:特殊加工规格及尺寸也可根据客户需要定作。

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